평택산업진흥원 공고 제2026-008호

「2026년 반도체 공정 가스 저감 실증사업」

참여기업 모집 공고

평택산업진흥원은 반도체 공정 가스 저감 기술의 실증 및 사업화를 지원하고, 지역 반도체 환경설비 산업의 기술 경쟁력 강화를 도모하기 위하여 ｢2026년 반도체 공정 가스 저감 실증사업｣ 참여기업을 다음과 같이 모집하오니 관련 기업의 많은 참여를 바랍니다.

1. 사업개요

○ (목적) 반도체 핵심 공정(식각·세정·증착 등)에서 사용되는 공정 가스 저감 기술을 대상으로 파일럿 규모의 실증을 지원함으로써, 중소·중견기업의 기술 신뢰성 확보와 사업화를 촉진

○ (사업기간) ’26년 4월 ~ 12월(협약일로부터 12. 31까지)

○ (사업규모) 총5개사

※ 사업비는 기업에 지급되지 않으며, 수행기관(한국생산기술연구원)에 지급됨

○ (모집대상) 평택시 소재 중소·중견 제조기업

○ (추진체계)

2. 신청자격

※ 아래의 신청자격을 모두 충족하여야 함

○ 평택시 소재 중소·중견 기업으로 평택시에 사업자등록(본사, 연구소, 공장)을 완료하고 업태가 제조업인 기업

○ 반도체 공정 가스 저감 또는 환경설비 분야의 기술 또는 제품을 보유한 중소기업 또는 중견기업

○ 실증 기간 동안 기술·인력 투입이 가능하고, 연구기관(KITECH) 및 전담기관과의 협력 수행이 가능한 기업

3. 지원내용

○ (공정 가스 저감 기술 파일럿 실증 지원) 공공 실증 인프라를 활용한 공정 가스 저감 성능, 공정 적합성, 연속 운전 안정성 등에 대한 실증 지원

○ (기술 고도화 및 후속 연계 지원) KITECH 연계 기술 자문 및 성능 개선 컨설팅, 실증 결과를 활용한 지산연 협력 R&D 및 중앙부처 지원사업 연계 기획

<(구축예정) 반도체 환경 모사 파일럿 설비>

4. 지원방식

5. 사업비 편성

○ 지원금은 참여기업이 아닌 수행기관(한국생산기술연구원)에 지급

○ 참여기업은 현금 또는 현물로 기업부담금 매칭 가능

※ 단, 현금 매칭을 희망하는 기업은 한국생산기술연구원과 별도 협의 필요

○ 현물은 기업 자율에 따라 인건비, 장비비, 연구재료비 등으로 구성

○ 현물 매칭 금액은 과업종료 시 정산예정

6. 접수방법 및 문의처

○ (접수기간) ’26. 2. 12.(목) ~ ’26. 3. 6.(금) 18:00

○ (접수방법) 사업신청서 이메일 제출

○ (접 수 처) yjsung@pipabiz.or.kr

○ (문 의 처) 평택산업진흥원 전략산업팀(031-8029-9242)

○ (신청서교부) 평택산업진흥원 홈페이지에서 다운로드

※ 평택산업진흥원 홈페이지(www.pipabiz.or.kr) 알림마당-공지사항에 해당 게시물 사업수행계획서 양식 다운로드 후, 신청서 일괄 작성하여 이메일 제출

○ (유의사항) 제출된 서류는 일체 반환하지 않으며, 신청자(기업, 대표자, 총괄책임자 등)는 채무불이행 등 신용조희 및 과제 관리를 위한 개인정보 활용에 동의한 것으로 봄

※ 개인정보 수집·이용·제공 동의서 제출 필수

7. 참여기업 선정계획

○ (평가일시) 2026. 3. 13.(금) 14:00

○ (평가장소) 평택산업진흥원 대회의실(평택시 서동대로 3825 제2피어선빌딩 가동 5층)

○ (평가방법) 평가위원회를 개최하여 참여기업 발표를 통해 기술성, 실증 적합성, 수행 역량 등 평가항목별 평가

○ (평가방식) 발표평가(발표 10분, 질의응답 10분)

○ (평가내용) 회사소개서 또는 제품(기술) 소개자료 발표

○ (평가기준) 평가위원 평가 점수 평균 70점 이상 기업 중 최고득점 기업 선정, 평가위원이 평가한 점수 중 최고점수 1개와 최저점수 1개을 제외하고, 나머지 점수를 평균하여 최종점수 산출

○ (평가항목)